残余气体分析仪应用于高温真空炉, 实现质量保证和过程优化
上海伯东某客户生产研发 X 射线管及组件, 使用德国 Pfeiffer Hicube RGA 残余气体分析仪与高温真空炉连接, 测试产品在不同温度下挥发的产物变化, 进一步分析产品的耐用性以及使用形态. 实现真空过程相关的质量控制, 满足 X 射线管工艺要求.
残余气体分析仪质量保证和过程优化
诸如提供气体成分定量测定, 确定过程气体纯度, 以及监测高温真空炉工艺过程相关气体成分等能力, 残余气体分析仪 HiCube RGA 是过程记录和质量保证中的重要工具. 即使测量正在执行, 所有测量值也会得到存储, 并且可以在不停止测量的情况下追踪. 即使仍在执行测量, 也可以导出测量结果以进行进一步分析.
上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA 进样口为 DN16 ISO-K 标准真空法兰, 可以根据客户需求, 选择不同的连接接口, 通过调整 EVN 116 气体计量阀实现进样, 进样气体流量可调整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s.
Pfeiffer 残余气体分析仪 Hicube RGA 技术规格
涡轮分子泵组 | HiCube? Eco |
功耗 | 170W |
电压（范围） | 110 - 240 V; 50 / 60 Hz |
氮气抽速 | 67 l/s |
前级泵在 50 Hz 时的泵送速度 | 1 m3/h |
极限真空 | <1X10-7 hPa |
真空计 | PKR 361 |
测量范围 | 1X10-9 至 1X103 hPa |
阀门 | EVN 116 |
气体流量 | 可调整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s |
进气口 | DN 16 ISO-KF |
PrismaPro | QMG 250 F1 | QMG 250 F2 | QMG 250 F3 | QMG 250 M1 | QMG 250 M2 | QMG 250 M3 |
检测器 | 法拉第 Faraday (F) | 电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) | ||||
质量数 amu | 1–100 | 1–200 | 1–300 | 1–100 | 1–200 | 1–300 |
四极杆直径／长度 | 6 /125 mm | |||||
最小检测极限 F hPa *1,2 | 4X10-13 | 5X10-13 | 7X10-13 | - | - | - |
最小检测极限 M hPa *1,2 | - | - | - | 3X10-15 | 4X10-15 | 5X10-15 |
对Ar的灵敏度 F A/hPa*3 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 |
最大工作压力 F hPa | 5X10-4 | |||||
最大工作压力 M hPa | - | - | - | 5X10-5 | 5X10-5 | 5X10-5 |
对临近质量数的影响*1 | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm |
操作温度 分析 | 200 ?C (max. 150 ?C when operating with SEM) | |||||
操作温度 电子 | 5 – 50 ?C | |||||
烘烤温度 分析 | 300 ?C | |||||
连接法兰 | DN 40 CF-F | |||||
保压时间 | 1 ms – 16 s/amu | |||||
峰比值可重复性 | ? 0.5 % | |||||
接口 | 以太网 | |||||
电源电压 | 100–240 V AC，50/60 Hz | |||||
HiCube? RGA重量 | 25.5 - 26.2 kg | |||||
上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA. 四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube 涡轮分子泵组的搭配, 质量数范围 1-300, 高分辨率和灵敏度. 适用于残余气体分析, 过程监测, 泄漏检测.
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