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氦质谱检漏仪 ASM 340W 真空镀膜配气面板检漏

价格:面议浏览:116次联系:张婷婷 / 15021001340 / 0755-25473928企业:伯东贸易(深圳)有限公司留言店铺收藏

氦质谱检漏仪 ASM 340 真空镀膜配气面板检漏
上海伯东某客户生产超高纯度特种气体不锈钢减压阀门, 接头, 管件, 这些配件主要用于集成在真空镀膜配气面板, 实现工艺气体的传输. 为了防止气体外泄, 除了阀门, 接头, 管件需要单独检漏外, 整个配气面板也需要测试整体漏率, 使用上海伯东德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340, 真空模式下, 漏率设置为 5.5x10-10 Pa m3/s. 组装后的真空镀膜配气面板广泛应用于 CVD 设备.
真空镀膜配气面板检漏
1. 不锈钢减压阀门, 接头, 管件等单独进行检漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10 Pa m3/s
氦质谱检漏仪真空镀膜配气面板检漏
2. 组装后的真空镀膜配气面板, 整体再次进行检漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10 Pa m3/s
氦质谱检漏仪真空镀膜配气面板检漏
上海伯东销售维修氦质谱检漏仪 ASM 340 与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损检漏的同时可以检测出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点.

氦质谱检漏仪 ASM340

型号

ASM 340 W

对氦气的最小检测漏率

5E-13 Pa m3/s

检测模式

真空模式和吸枪模式

检测气体

4He, 3He, H2

启动时间 min

3

对氦气的抽气速度 l/s

2.5

进气口最大压力 hPa

25

前级泵抽速 m3/h

油泵 15

重量 kg

56


结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>

 

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
T: 86-21-5046-1322                   T: 886-3-567-9508 ext 161
F: 86-21-5046-1490                        F: 886-3-567-0049
M: 86 152-0195-1076                     M: 886-939-653-958
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