供应

涡轮分子泵组

HiCube? Eco

功耗

170W

电压（范围）

110 - 240 V; 50 / 60 Hz

氮气抽速

67 l/s

前级泵在 50 Hz 时的泵送速度

1 m3/h

极限真空

<1X10-7 hPa

真空计

PKR 361

测量范围

1X10-9 至 1X103 hPa

阀门

EVN 116

气体流量

可调整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s

进气口

DN 16 ISO-KF

PrismaPro

QMG 250 F1

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

QMG 250 M2

QMG 250 M3

检测器

法拉第 Faraday (F)

电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)

质量数 amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四极杆直径／长度

6 /125 mm

最小检测极限 F hPa *1,2

4X10-13

5X10-13

7X10-13

-

-

-

最小检测极限 M hPa *1,2

-

-

-

3X10-15

4X10-15

5X10-15

对Ar的灵敏度 F A/hPa*3

5X10-4

4X10-4

3X10-4

5X10-4

4X10-4

3X10-4

最大工作压力 F hPa

5X10-4

最大工作压力 M hPa

-

-

-

5X10-5

5X10-5

5X10-5

对临近质量数的影响*1

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作温度 分析

200 ?C (max. 150 ?C when operating with SEM)

操作温度 电子

5 – 50 ?C

烘烤温度 分析

300 ?C

连接法兰

DN 40 CF-F

保压时间

1 ms – 16 s/amu

峰比值可重复性

? 0.5 %

接口

以太网

电源电压

100–240 V AC，50/60 Hz

HiCube? RGA重量

25.5 - 26.2 kg