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光学镀膜在我们生活中无处不在, 从精密及光学设备/ 显示器设备到日常生活中的光学薄膜应用; 比如说, 平时戴的眼镜/ 数码相机/ 各式家电用品, 或者是钞票上的防伪技术, 皆能被称之为光学薄膜技术应用之延伸. 倘若没有光学薄膜技术作为发展基础, 近代光电/ 通讯或是镭射技术将无法有所进展, 这也显示出光学薄膜技术研究发展的重要性.

为了提高薄膜的品质，镀膜制造商一般会采用离子源进行辅助镀膜, 如下图

随着对镀膜品质要求的不断提升, 使用霍尔离子源辅助镀膜已经无法满足高端镀膜应用市场, 国内某知名 LED 制造商经过我司推荐采用射频离子源 RFICP 325 安装在 DBR 生产设备 1650 mm 蒸镀机中. 成功实现高端光学镜头镀膜并通过脱膜测试!

上海伯东 KRI 射频离子源 RFICP 325客户案例: 国内某知名 LED 制造商
1. 离子源应用: LED-DBR 镀膜生产.
2. 系统功能: 1650 mm 尺寸电子枪蒸镀镀膜机.
3. 离子源: 采用美国 KRI 射频离子源 RFICP 325. 离子源 RFICP 325 提供的离子束 (不论是离子能量还是离子密度) 均是目前业界较高等级, 离子源 RFICP 325 特殊的栅极设计 E22 Grided 可以涵盖 1650 mm 尺寸的蒸镀机中大范围的载具 substrate holder, 无论是生产良率或是均匀性都可达到最高生产效能.
4. 离子源功能: 通过射频离子源 RFICP 325 实现离子辅助镀膜 IBAD 及预清洁 Pre-clean 功能后, 所生产出的 LED-DBR 无论是亮度测试, 脱膜测试, 顶针测试, 光学特性等等… 都优于目前一般业界蒸镀机所搭配的离子源.

上海伯东射频离子源安装案例: KRI RFICP 325 射频离子源安装于 1650 mm 尺寸电子枪蒸镀镀膜机.



KRI 射频离子源测试案例: LED-DBR 脱膜测试.
1. 在高倍显微镜下检视脱膜测试


2. 测试结果

--------- 使用其他品牌离子源---     --------------------- 使用美国考夫曼 KRI RFICP 325 离子源 ----------------------

从上图可以清楚看出, 使用其他品牌离子源, 样品存在崩边的问题; 使用上海伯东美国考夫曼离子源, 样品无崩边

伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

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