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伯东 KRI 考夫曼射频离子源 RFICP380 辅助溅射沉积制备锂硫电池正极片

价格:面议浏览:123次联系:张婷婷 / 15021001340 / 0755-25473928企业:伯东贸易(深圳)有限公司留言店铺收藏

某锂硫电池制造商采用伯东KRI 考夫曼射频离子源 RFICP380 辅助溅射沉积制备锂硫电池正极片.

伯东 KRI 射频离子源 RFICP380 技术参数:

射频离子源型号

RFICP380

Discharge 阳极

射频 RFICP

离子束流

>1500 mA

离子动能

100-1200 V

栅极直径

30 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射

流量

15-50 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

长度

39 cm

直径

59 cm

中和器

LFN 2000

 

工艺流程:

该正极片的制备在离子束溅射室内进行, 将铝箔作为基片, 将定量的块体硫和块体碳作为靶材.

在开始工艺前, 需要将离子束溅射室抽真空后, 然后利用KRI 射频离子源 RFICP380 将通入的氩气离化为氩离子, 氩离子束以不同的功率交替轰击块体硫和块体碳, 将硫原子和碳原子分别溅射出来, 沉积到铝箔表面, 即获得带有硫碳复合材料的锂硫电池正极片.

 

KRI 射频离子源 RFICP380 特性:

1. 大面积射频离子源

2. 提供高密度离子束, 满足高工艺需求

3. 采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长, 更适合时间长的工艺要求

4. 离子束流: >1500 mA

5. 离子动能: 100-1200 V

6. 中和器: LFN 2000

7. 采用自动控制器, 一键自动匹配

8. RF Generator 可根据工艺自行选择离子浓度, EX: 1kW or 2kW

9. 离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装

10. 栅极材质钼和石墨, 坚固耐用

11. 通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others

 

为了给离子束溅射室提供 10-4 Pa真空度, 该制造商采用伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 700抽真空. 其技术参数如下:

2707-Operating voltage: V DC

48 (? 5 %) V DC

Ar 的压缩比

> 1 ? 1011

Ar 的抽速

665 l/s

Ar 的最终转速时的气体流量

3.5 hPa l/s | 2.62 Torr l/s | 3.5 mbar l/s

H2 的压缩比

4 ? 105

H2 的抽速

555 l/s

H2 的最终转速时的气体流量

> 14 hPa l/s | > 10.5 Torr l/s | > 14 mbar l/s

He 的压缩比

3 ? 107

He 的抽速

655 l/s

He 的最终转速时的气体流量

10 hPa l/s | 7.5 Torr l/s | 10 mbar l/s

I/O 接口

RS-485, 远程, Profibus

N2 的压缩比

> 1 ? 1011

N2 的抽速

685 l/s

N2 的最大预真空

11 百帕

N2 的最终转速时的气体流量

6.5 hPa l/s | 4.88 Torr l/s | 6.5 mbar l/s

不带气镇的最终压力

1 ? 10-7 百帕

允许冷却水的温度

15 – 35 ?C 摄氏度

冷却水消耗最小值

100 l/h

冷却水耗量

100 l/h

冷却类型, 可选项

空气

冷却类型, 标准

声压水平

≤50 dB(A) 分贝 (A)

安装方向

任何

排气连接

G 1/8"

接口, 扩展

Profibus

方位

混合动力

最大允许磁场

6 mT

根据 PNEUROP 的最终压力

< 1 ? 10-7 百帕

电子驱动单元

带有 TC 400

电流最大值

8,75 A

耗电量 max.

420 瓦

转速 ± 2 %

49,200 rpm | 49,200 min-1

转速可变化

60 – 100 %

运行时间

2 分

连接法兰(入口)

DN 160 ISO-F

连接法兰(出口)

DN 25 ISO-KF/G ?"

重量

12.1 千克

防护等级

IP54

 

运行结果:

能够精确控制溅射量, 获得混合均匀的硫碳复合材料.

 

伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

 

 

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
T: 86-21-5046-1322                   T: 886-3-567-9508 ext 161
F: 86-21-5046-1490                        F: 886-3-567-0049
M: 86 152-0195-1076                     M: 886-939-653-958
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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