用于微流控芯片制作的材料主要有: 硅片, 石英, 玻璃, 高分子聚合物(包括 PMMA, PC, COC, PDMS, Flxdym, PP, PS, ET……)等, 其中高分子聚合物由于成本低, 易成型等优势应用范围较广. 上海伯东代理 Europlasma 等离子表面处理设备通过对材料进行 TC 处理, WCA 水接触角可以长时间稳定在 50?左右 成功应用于 PS 微流控芯片.
等离子表面处理 PS 微流控芯片应用案例:
上海伯东某客户生产 PS 微流控芯片, 用于细胞培养和样板处理. 为了解决微流道的液体通过性问题, 要求微流道的表面接触角 WCA 稳定在 50?左右, 持续效果必须 1-2年. 客户尝试过用电晕机做表面处理, 但是效果只能持续 3个月左右, 无法达到使用要求.
客户了解到上海伯东 Europlasma 等离子表面处理在细胞培养耗材行业应用广泛, 可以获得比电晕机更好的表面处理效果, 经过伯东推荐, 选用等离子机 CD 1000 PLC , 工艺气体选用 O2 和 Ar 的混合气体, 经过处理的样品一周的水接触角 WCA 为 20?左右, 四周的水接触角 WCA 可以稳定在 28?左右, 六个月的时间水接触角 WCA 可以稳定在 40?左右, 满足客户要求!
反应舱 | 材料:铝 | |
真空度测量 | 皮拉尼真空计 | |
真空泵 | 旋片初级真空泵和 480m3 /h的机械增压泵 | |
频射发生器 | 0~2500W 可调. KHz 发生器 | |
控制系统 | PLC可实现下列功能: | |
电源 | 380V AC, 三相, 50Hz, 40A | |
反应气体 | 一个气体输入端口, 含气体流量控制器(MFC) | |
气体输入 | 直径1/4英寸(6.35mm) 管道;输入压力:1Bar | |
尾气排放 | 直径 38mm 输出端口 | |
性能 | 急停开关;真空泵保护锁;高温保护锁;CE认证. |
上海伯东 Europlasma 等离子机表面处理流程
1. 将产品依次放置在托盘上, 摆放于 CD 1000 PLC 的真空腔内, 运行真空泵, 把腔体真空度抽至 70 mTorr
2. 稳定后通入 O2 到真空腔, 并打开 RF 等离子发生器, 产生高能量高浓度的 O2 等离子体
3. O2 等离子体在产品表面发生各种物理和化学反应, 控制反应时间在 15min, 达到产品表面亲水改性和活化的效果.
4. 15min 后关闭设备, 取出托盘和被处理过的产品, 再放置新一批的产品, 可以实现设备 24h 循环使用.
Europlasma CD 1000 PLC 样品托盘, 放置于真空腔内
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