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有机材料热蒸镀设备 OLED, OPV
有机金属热沉积系统是一种热蒸发的方式, 用于将有机或金属材料沉积到基板表面上. 该过程需要通过准确控制温度和沉积速率来实现薄膜的高精度和均匀性. 为了达到此要求, 有机材料热沉积系统使用高精准热蒸发源作为加热源, 并使用金属, 石英, 陶瓷或 PBN 坩埚来容纳有机材料以及 PID 控制器来控制其沉积速率.
上海伯东针对薄膜封装推出电浆辅助式化学气相沉积, 原子层沉积和聚对二甲苯沉积等三种设备, 且使用低温的沉积技术, 分别在 OLED 上堆叠多层薄膜, 广泛应用于有机发光二极体, 有机光伏打电池和材料科学研究.
上海伯东有机材料热蒸镀设备配置和优点
客制化的基板尺寸, 最大直径为 12寸晶圆或 470 x 370 mm
优异的薄膜均匀度小于 ?3%
用于有机材料的蒸发源（可用金属、陶瓷、石墨或 PBN 坩埚）
镀率自动控制: 最小值为 0.01?/s
蒸发源温度控制可达到精度 ?0.1
具有顺序操作或共沉积的多个蒸发源
用 CCD 对位将玻璃基板和遮罩的位置对准在?5μm 以内
每个蒸发源和基材均有安装遮板和百叶窗
有机材料热蒸镀设备腔体和选件
腔体的极限真空度约为 -10, 由 304不锈钢所制成, 通过外部焊接 304不锈钢管线对腔体进行水冷. 宽大的前开式门, 并有两个视窗和视窗遮版用于观察基材和蒸发源. 一个热蒸发腔体内, 最多可容纳 12组热蒸发源. 设备可以与传送腔, 机械手臂和手套箱整合在一起, 搭配使用残留气体分析仪.

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