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Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 用于蚀刻 FSD 车载 AI 芯片

价格:面议浏览:137次联系:张婷婷 / 15021001340 / 0755-25473928企业:伯东贸易(深圳)有限公司留言店铺收藏

某 AI 芯片公司研发部采用伯东 20IBE-C 用于蚀刻 FSD 车载 AI 芯片, 去除制造过程中产生的污染物, 提高 AI 芯片的表面均匀度.

 

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 技术参数如下:

离子蚀刻机

Ф4 inch X 6片

基板尺寸

< Ф3 inch X 8片
< Ф4 inch X 6片
< Ф8 inch X 1片

样品台

样品台可选直接冷却 / 间接冷却, 0-90度旋转

离子源

20cm 考夫曼离子源

均匀性

?5% for 8”Ф

硅片蚀刻率

20 nm/min

温度

<100

 

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 产品图如上图, 其主要构件包括 Pfeiffer 分子泵, KRI 考夫曼离子源, 触摸屏控制面板, 真空腔体, 样品台. 如下图:

 

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 的核心构件离子源采用的是伯东公司代理美国 考夫曼博士创立的 KRI考夫曼公司的射频离子源 RFICP220.

 

伯东 KRI 射频离子源 RFICP 220 技术参数:

离子源型号

RFICP 220

Discharge

RFICP 射频

离子束流

>800 mA

离子动能

100-1200 V

栅极直径

20 cm Φ

离子束

聚焦

流量

10-40 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

长度

30 cm

直径

41 cm

中和器

LFN 2000

* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量

 

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 的样品台可以 0-90 度旋转, 实现晶圆反应面均匀地接受离子的轰击, 进而实现提高晶圆的加工质量.

 

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 配套的是伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 700.

 

伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 700 技术参数:

2707-Operating voltage: V DC

48 (? 5 %) V DC

Ar 的压缩比

> 1 ? 1011

Ar 的抽速

665 l/s

Ar 的最终转速时的气体流量

3.5 hPa l/s | 2.62 Torr l/s | 3.5 mbar l/s

H2 的压缩比

4 ? 105

H2 的抽速

555 l/s

H2 的最终转速时的气体流量

> 14 hPa l/s | > 10.5 Torr l/s | > 14 mbar l/s

He 的压缩比

3 ? 107

He 的抽速

655 l/s

He 的最终转速时的气体流量

10 hPa l/s | 7.5 Torr l/s | 10 mbar l/s

I/O 接口

RS-485, 远程, Profibus

N2 的压缩比

> 1 ? 1011

N2 的抽速

685 l/s

N2 的最大预真空

11 百帕

N2 的最终转速时的气体流量

6.5 hPa l/s | 4.88 Torr l/s | 6.5 mbar l/s

不带气镇的最终压力

1 ? 10-7 百帕

允许冷却水的温度

15 – 35 ?C 摄氏度

冷却水消耗最小值

100 l/h

冷却水耗量

100 l/h

冷却类型,可选项

空气

冷却类型,标准

声压水平

≤50 dB(A) 分贝 (A)

安装方向

任何

排气连接

G 1/8"

接口,扩展

Profibus

方位

混合动力

最大允许磁场

6 mT

根据 PNEUROP 的最终压力

< 1 ? 10-7 百帕

电子驱动单元

带有 TC 400

电流最大值

8,75 A

耗电量 max.

420 瓦

转速 ± 2 %

49,200 rpm | 49,200 min-1

转速可变化

60 – 100 %

运行时间

2 分

连接法兰(入口)

DN 160 ISO-F

连接法兰(出口)

DN 25 ISO-KF/G ?"

重量

12.1 千克

防护等级

IP54

 

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: 86-21-5046-1322                   T: 886-3-567-9508 ext 161
F: 86-21-5046-1490                        F: 886-3-567-0049
M: 86 152-0195-1076                     M: 886-939-653-958
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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