Temptronic ThermoChuck 技术参数：一、晶圆尺寸：150 和 200 mm
ThermoChuck 型号 | 温度范围?C | 冷却 | 加热 |
TP03000A | -65 to 200?C | Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling | 热电 |
TP03010A | 20 to 200?C | 风冷/水冷* | 热电 |
TP03010B | 0 to 200?C | Closed loop glycol/water cooling | 热电 |
TP03015A | 30 to 200?C ( 300?C optional) | 风冷/水冷* | 电阻 |
TP03015B | 30 to 200?C ( 300?C optional) | Closed loop glycol/水冷 | 电阻 |
电压 115V或 220V
* 用户提供冷却介质
二、晶圆尺寸：300 mm
ThermoChuck 型号 | 温度范围?C | 冷却 | 加热 |
TP03500A | -55 to 200 | Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling | 电阻 |
TP03500D | 20 to 200 | Open loop air cooling with Vortex* | 电阻 |
TP03500E | 30 to 200 | Open loop air cooling* | 电阻 |
电压 220V
* 用户提供冷却介质
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