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产品描述

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 10, 宽束离子源,最小型号的离子源, 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射. 适用于已知的所有离子源应用.

离子束流: >10 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: 灯丝, 流量 (Typical flow): 1-5 sccm.

加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.

离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.

无需水冷, 降低安装要求并排除腔体漏水的几率, 双阴极设计.

美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 10 技术参数：

伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 技术参数：

离子源型号	离子源 KDC 10
Discharge	DC 热离子
离子束流	>10 mA
离子动能	100-1200 V
栅极直径	1 cm Φ
离子束	聚焦, 平行, 散射
流量	1-5 sccm
通气	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型压力	< 0.5m Torr
长度	11.5 cm
直径	4 cm
中和器	灯丝

美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 10 应用领域：

伯东KRI 考夫曼离子源 KDC 10 应用领域：

1. 离子清洗, 显微镜抛光 IBP

2. 溅镀和蒸发镀膜 PC

3. 辅助镀膜(光学镀膜) IBAD

4. 表面改性, 激活 SM

5. 离子溅射沉积和多层结构 IBSD

6. 离子蚀刻 IBE