【请登录】【免费注册】

首页新闻技术产品供应二手培训展会物流维修求购招商招标招聘企业

供应

搜索
产品信息产品筛选产品类型大全供应信息求购信息二手设备生产销售企业
您的位置:盘古机械网>供应信息>供应详情

美国 KRI 线性霍尔离子源 eH Linear

价格:面议浏览:226次联系:张婷婷 / 15021001340 / 0755-25473928企业:伯东贸易(深圳)有限公司留言店铺收藏

KRI 线性霍尔离子源 eH Linear产品描述

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 线性离子源使用 eH 400 做为模组, 能应用于宽范围的衬底, 离子源长度高达 1 米, 通过严格调整模组间的距离可以实现最佳的均匀性和离子流. 由于模组是平行放置, 大大简化了气体, 功率和电子三者的分布.

KRI 线性离子源使用标准的端部霍尔模组并使设备的需求简化, 一个低成本, 高电流和低能量的离子束可以很好的使用于 web 涂层, in-line 沉积和圆柱旋转溅射系统.

尺寸: 直径= 3.7“ 高= 3”

放电电压 / 电流: 50-300eV / 5A

操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体

美国 KRI 线性霍尔离子源 eH Linear 技术参数:

伯东KRI 霍尔离子源 eH Linear 技术参数:

型号

eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5

供电

DC magnetic confinement

- 电压

40-200V VDC

- 阳极结构

模块化

电源控制

eHL-30010A

配置

-

- 阴极中和器

Filamentless

- 离子束发散角度

> 45? (hwhm)

- 阳极

标准或 Grooved

- 底座

移动或快接法兰

- 高度

10 cm

宽度

10 cm

- 长度

~ 100cm

-工艺气体

Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others

 

Model

eHL 200-3

eHL 200-5

Height (nominal)

2.9” (7.4cm)

2.9” (7.4cm)

Width (nominal)

3.3” (8.4cm)

3.3” (8.4cm)

Length (nominal)

Determined by number of modules & application

Determined by number of modules & application

Cathode/Neutralizer

Yes

Yes

Anode module

Yes

Yes

Filamentless

Yes

Yes

Orientation

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Process gases

Inert, reactive, & organic

Inert, reactive, & organic

Power controller

eH Plasma Power Pack

eH Plasma Power Pack

此会员其它供应

业务咨询:932174181   媒体合作:2279387437    24小时服务热线:15136468001 盘古机械网 - 全面、科学的机械行业免费发布信息网站 Copyright 2017 PGJXO.COM 豫ICP备12019803号