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美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列

价格:面议浏览:236次联系:张婷婷 / 15021001340 / 0755-25473928企业:伯东贸易(深圳)有限公司留言店铺收藏

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列产品描述

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 霍尔离子源 eH 系列属于宽束型离子源, 散射角度>45?.

霍尔离子源气体流量可选 2-25sccm/ 2-50sccm/ 2-50sccm/ 2-75sccm/ 5-100sccm 等不同级别.

霍尔离子源电流可选 5A/ 10A/ 12A/ 15A/ 20A 等.

霍尔离子源高浓度提高镀膜沉积速率, 低动能减少离子轰击损伤表面, 宽束设计有效提高吞吐量和覆盖沉积区.

整体易操作, 易维护. 霍尔离子源 eH 提供一套完整的方案包含离子源, 电子中和器, 电源供应器, 流量控制器 MFC 等等.

美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列 产品特性:

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列产品特性:

1.无栅极

2.高电流低能量

3.发散光束 >45?

4.可快速更换阳极模块

5.可选 Cathode / Neutralize 中和器

美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列 技术参数:

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列在售型号及技术参数:

离子源型号

 

霍尔离子源

eH200(停产)

霍尔离子源

eH400
eH400LE

霍尔离子源

eH1000
eH1000LE
eH1000LO

霍尔离子源

eH1000xO2

霍尔离子源

eH2000
eH2000LE
eH2000HO

霍尔离子源

eH3000
eH3000LO
eH3000MO

Cathode/Neutralizer

F or HC

F or HC

F or HC

F or HC

F or HC
HC
HC

HC

电压

30-300V

50-300V
30-150V

50-300V
30-150V
50-300V

100-300V

50-300V
30-150V
50-250V

50-250V
50-300V
50-250V

电流

2A

5A
10A

10A
12A
5A

10A

10A
15A
15A

20A
10A
15A

散射角度

>45

>45

>45

>45

>45

>45

可充其他Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others

气体流量

1-15sccm

2-25sccm

2-50sccm

2-50sccm

2-75sccm

5-100sccm

高度

2.0“

3.0“

4.0“

4.0“

4.0“

6.0“

直径

2.5“

3.7“

5.7“

5.7“

5.7“

9.7“

水冷

可选

可选

可选

可选

F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current

美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列 基本组成:

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列基本组成

1. 灯丝

2. 阳极模组

3. 主要模组

4. 底座(可调整角度, 高度)

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