上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 霍尔离子源 eH 系列属于宽束型离子源, 散射角度>45?.
霍尔离子源气体流量可选 2-25sccm/ 2-50sccm/ 2-50sccm/ 2-75sccm/ 5-100sccm 等不同级别.
霍尔离子源电流可选 5A/ 10A/ 12A/ 15A/ 20A 等.
霍尔离子源高浓度提高镀膜沉积速率, 低动能减少离子轰击损伤表面, 宽束设计有效提高吞吐量和覆盖沉积区.
整体易操作, 易维护. 霍尔离子源 eH 提供一套完整的方案包含离子源, 电子中和器, 电源供应器, 流量控制器 MFC 等等.
美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列 产品特性:KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列产品特性:
1.无栅极
2.高电流低能量
3.发散光束 >45?
4.可快速更换阳极模块
5.可选 Cathode / Neutralize 中和器
美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列 技术参数:KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列在售型号及技术参数:
离子源型号
| 霍尔离子源 eH200(停产) | 霍尔离子源 eH400 | 霍尔离子源 eH1000 | 霍尔离子源 eH1000xO2 | 霍尔离子源 eH2000 | 霍尔离子源 eH3000 |
Cathode/Neutralizer | F or HC | F or HC | F or HC | F or HC | F or HC | HC |
电压 | 30-300V | 50-300V | 50-300V | 100-300V | 50-300V | 50-250V |
电流 | 2A | 5A | 10A | 10A | 10A | 20A |
散射角度 | >45 | >45 | >45 | >45 | >45 | >45 |
可充其他 | Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others | |||||
气体流量 | 1-15sccm | 2-25sccm | 2-50sccm | 2-50sccm | 2-75sccm | 5-100sccm |
高度 | 2.0“ | 3.0“ | 4.0“ | 4.0“ | 4.0“ | 6.0“ |
直径 | 2.5“ | 3.7“ | 5.7“ | 5.7“ | 5.7“ | 9.7“ |
水冷 | 无 | 可选 | 可选 | 可选 | 是 | 可选 |
F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current
美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列 基本组成:KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列基本组成
1. 灯丝
2. 阳极模组
3. 主要模组
4. 底座(可调整角度, 高度)
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