上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 系列. 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.
离子束流: >10 mA~650 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: 灯丝.
加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.
离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.
通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.
考夫曼离子源 KDC 系列包含多种不同尺寸的离子源满足各类应用. 可以直接整合在各类真空设备中, 例如实验室小型研发, 镀膜机, load lock, 溅射系统, 卷绕镀膜机和线性镀膜.
美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列 产品优势:伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 特性:
1.通过加热灯丝产生电子
2.低电流高能量宽束型离子源
美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列 技术参数:伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 技术参数:
离子源型号 | 离子源 KDC 10 | 离子源 KDC 40 | 离子源 KDC 75 | 离子源 KDC 100 | 离子源 KDC 160 |
Discharge | DC 热离子 | DC 热离子 | DC 热离子 | DC 热离子 | DC 热离子 |
离子束流 | >10 mA | >100 mA | >250 mA | >400 mA | >650 mA |
离子动能 | 100-1200 V | 100-1200 V | 100-1200 V | 100-1200 V | 100-1200 V |
栅极直径 | 1 cm Φ | 4 cm Φ | 7.5 cm Φ | 12 cm Φ | 16 cm Φ |
离子束 | 聚焦, 平行, 散射 | ||||
流量 | 1-5 sccm | 2-10 sccm | 2-15 sccm | 2-20 sccm | 2-30 sccm |
通气 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 | ||||
典型压力 | < 0.5m Torr | < 0.5m Torr | < 0.5m Torr | < 0.5m Torr | < 0.5m Torr |
长度 | 11.5 cm | 17.1 cm | 20.1 cm | 23.5 cm | 25.2 cm |
直径 | 4 cm | 9 cm | 14 cm | 19.4 cm | 23.2 cm |
中和器 | 灯丝 |
KRI 考夫曼离子源 KDC 应用:
1.辅助镀膜(光学镀膜) IBAD
2.溅镀&蒸镀 PC
3.表面改性, 激活 SM
4.沉积 DD
5.离子溅射沉积和多层结构 IBSD
6.离子蚀刻 IBE
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