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美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列

价格:面议浏览:266次联系:张婷婷 / 15021001340 / 0755-25473928企业:伯东贸易(深圳)有限公司留言店铺收藏

KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC产品描述

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 系列. 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.

离子束流: >10 mA~650 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: 灯丝.

加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.

离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.

通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.

考夫曼离子源 KDC 系列包含多种不同尺寸的离子源满足各类应用. 可以直接整合在各类真空设备中, 例如实验室小型研发, 镀膜机, load lock, 溅射系统, 卷绕镀膜机和线性镀膜.

美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列 产品优势:

伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 特性:

1.通过加热灯丝产生电子

2.低电流高能量宽束型离子源

美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列 技术参数:

伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 技术参数:

 离子源型号

 离子源 KDC 10 

 离子源 KDC 40 

 离子源 KDC 75 

 离子源 KDC 100 

 离子源 KDC 160 

Discharge

DC 热离子

DC 热离子

DC 热离子

DC 热离子

DC 热离子

离子束流

>10 mA

>100 mA

>250 mA

>400 mA

>650 mA

离子动能

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

栅极直径

1 cm Φ

4 cm Φ

7.5 cm Φ

12 cm Φ

16 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射

流量

1-5 sccm

2-10 sccm

2-15 sccm

2-20 sccm

2-30 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

长度

11.5 cm

17.1 cm

20.1 cm

23.5 cm

25.2 cm

直径

4 cm

9 cm

14 cm

19.4 cm

23.2 cm

中和器

灯丝

美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列 应用领域:

KRI 考夫曼离子源 KDC 应用:

1.辅助镀膜(光学镀膜) IBAD

2.溅镀&蒸镀 PC

3.表面改性, 激活 SM

4.沉积 DD

5.离子溅射沉积和多层结构 IBSD

6.离子蚀刻 IBE

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