罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。罗茨真空泵的泵腔内有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间转子与泵壳内壁之间,保持有大概的间隙可以实现高转速运行,由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵通常压缩比很低故高、中真空泵需要前级泵,罗茨泵的真空除取决于泵本身结构和制造精度外还取决于前级泵的真空为了提高泵的真空度可将罗茨泵串联使用。
它的工作原理是由于转子的不断旋转,被抽气体从吸气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内再经排气口排出由于吸气后v0空间是全封闭状态。
所以在罗茨真空泵的泵腔内气体没有压缩和膨胀但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时由于排气侧气体压强较高则有一部分气体返冲到空间v0中去使气体压强突然增高当转子继续转动时气体排出泵外。
由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,这种泵体,通常压缩 比 很低,故中、高真空罗茨泵需要前级泵。因此,罗茨泵的真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的真空度。
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