该仪器设计原理是利用了软X射线的透射吸收特性,通过传感器测量透过介质的射线衰
减度,按一定算法转换为薄膜和板材的厚度数值,测量精度与用户提供的样片有关系,最高平均值精
度可精确到0.1UM,是一种薄膜在线厚度检测仪器的高科技产品。
为确保仪器的精度,必须保证有三大要素
1.仪器机械结构的加工精度
2.信号的采集处理精度
3. 优秀的软件算法和准确的采样
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