在半导体和集成电路工艺中,材料、晶圆、芯片的测试是必不可少的环节。数字源表SMU具备源测功能,可以产生电流-电压(I-V)特性曲线,是半导体材料、器件电性能表征测量的核心。在测试时,通过数字源表提供激励并对测量信号进行采集,首先将电流或电压输入被测器件(DUT),测量该器件对此输入信号的响应;这些信号的路径为:源表的输出端接入电缆,电缆和探针连接,电流或电压信号通过探针至芯片。
普赛斯数字源表集电压源、电流源、电压表、电流表、电子负载功能于一体,支持四象限工作、微弱电流10pA输出测量、3500V高压下nA级测量、1000A脉冲大电流输出,全系列产品丰富,新推出更高精度、更大直流的SXXB系列高精度数字源表,相比于传统S系列源表,准确度提升至?0.03%,直流电流升级至3A,可为半导体行业提供更加精准、稳定的测试方案;晶圆/芯片微弱电流测试VI源表认准普赛斯仪表,详询18140663476
产品特点
5寸800*480触摸显示屏,全图形化操作
内置强大的功能软件,加速用户完成测试,如LIV、PIV
源及测量的准确度为0.03%
四象限工作(源和肼),源及测量范围:高至300V,低至3pA
丰富的扫描模式,支持线性扫描、指数扫描及用户自定义扫描
支持USB存储,一键导出测试报告
支持多种通讯方式,RS-232、GPIB及以太网
技术参数
源限度-电压源:?10V(≤3A量程),?30V(≤1A量程),?300V(≤100mA量程);
源限度-电流源:?3A(≤10V量程),?1A(≤30V量程),?100mA(≤300V量程);
过量程: 105%量程,源和测量;
稳定负载电容:<22nF;
宽带噪声(20MHz):2mV RMS(典型值),<20mV Vp-p(典型值);
线缆保护电压:输出阻抗30KΩ,输出电压偏移<80mV;
最大采样速率:S系列1000 S/s,SXXB系列32000S/s;
触发:支持IO触发输入及输出,触发极性可配置;
输出接口:前后面板香蕉头插座输出,同一时刻只能用前或者后面板接口;
通信口:RS-232、GPIB、以太网;
电源:AC 100~240V 50/60Hz;
工作环境:25?10℃;
尺寸:106mm高 ? 255mm宽 ?425mm长;
重量:5KG
质保期:1年
S系列源表应用
分立器件特性测试:电阻、二极管、发光二极管、齐纳二极管、PIN二极管、BJT三极管、MOSFET、SiC、GaN等器件;
能量与效率特性测试:LED/AMOLED、太阳能、电池、DC/DC转换器;
传感器特性测试:电阻率、霍尔效应等;
有机材料特性测试:电子墨水、印刷电子技术等;
纳米材料特性测试:石墨烯、纳米线等;
激光器特性测试:窄脉冲LIV测试系统;
功率器件:静态测试系统;
电流传感器:动静态参数测试系统;
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