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催化燃烧设备废气处理过程主要包括三部分吸附气体过程、脱附气体过程，催化燃烧过程。

一、吸附气体流程利用活性炭的物理特性对VOC废气进行吸附，且蜂窝状活性炭比表面积大、吸附特性，将废气吸附到活性炭的微孔中，从而使气体得以净化，净化后的气体再通过风机排空。

二、脱附气体流程当活性炭微孔吸附饱和时，将不能再进行吸附，此时利用催化床产生的高温热风对活性炭进行脱附，活性炭微孔中的物遇高温后自动脱离活性炭，使活性炭。

三、脱附下来的物已被浓缩（浓度较原来提升几十倍）并被送入催化燃烧室进行催化燃烧，在催化剂上在250～300℃进行催化氧化，使其转化为的CO2和H2O排出，当废气浓度达到2000PPm以上时，废气在催化床可维持自燃，不用另外再行加热，燃烧后的尾气一部份直接排到大气，大部份热气流被再次循环送往吸附床，用于对活性炭的脱附。这样既能达到燃烧和脱附所需热能，又能达到节能的目的，后的活性炭可用于下次吸附。

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