全磁浮涡轮分子泵 ATH 1603 M,对氮气的抽速最高可达 1400 l/s,水冷。外部分子泵驱动电路。全磁浮涡轮分子泵可以安装在任何方向。CE标志和通过无铅认证。全磁浮涡轮分子泵核心科技是五轴控制全磁浮轴承,免维护,无需润滑,保证分子泵内部绝对清洁无油。全磁浮轴承保证了转子的稳定性,在高速运转过程中无摩擦,无磨损,低噪音低振动,可延长分子泵的使用寿命。
全磁浮涡轮分子泵 ATH 1603 M 多种配置可选 满足不同需要:
1.两种接口:DN 200/250
2.两种密封方式:ISO-F/CF-F
3.另有可远程控制款供客户选择
全磁浮涡轮分子泵 ATH 1603 M 技术参数:
轴承 | 五轴控制全磁浮轴承 |
转速 | 39000 min-1 |
对氮气的压缩比 | > 1 ? 10 8 |
最大进气压力N2 | 1.7 hPa |
对氮气的抽速 | 1400 l/s--1600 l/s |
启动时间 | < 6 min |
极限真空度 | < 6 ? 10-9 hPa |
重量 | 34 (分子泵) 8(分子泵电源控制器) kg |
全磁浮涡轮分子泵 ATH 1603 M 对不同气体的抽速:
全磁浮涡轮分子泵 ATH 1603 M 尺寸图:
全磁浮分子泵在售型号(中文资料)
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