干式真空泵 A4X 系列
上海伯东德国 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列适合半导体、光伏等腐蚀性强的行业，干式真空泵抽速从 160 到 1,700 m3/h 满足不同需求，特殊的耐腐蚀工艺设计保证干式真空泵 A4X 系列使用寿命大幅提高，有效降低了企业成本。
干式真空泵 A4X 系列核心优势：
耐腐蚀设计，使用寿命长
通过 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准
特殊设计，避免真空泵发生爆裂或可冷凝物沉积
配置氮气吹扫阀，耐粉尘
干式真空泵 A4X 系列应用：
半导体：（蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等）
涂料行业：光伏和 LED
干式真空泵 A4X 系列技术参数：
型号 | A 124 H | A 604 H | A 1204 H | A 204 H | A 804 H | A 1504 H | A 1804 H |
抽速 m3/h | 110 | 560 | 1150 | 160 | 700 | 1200 | 1700 |
极限真空 | 2X10-2 | 2X10-4 | 9X10-4 | 5X10-2 | 2X10-3 | 2X10-3 | 2X10-3 |
极限真空 | 5X10-2 | 6X10-3 | 6X10-3 | 2X10-1 | 9X10-3 | 9X10-3 | 9X10-3 |
全转速最大进气气流 SLM | 80 | 60 | 55 | 150 | 100 | 100 | 70 |
最大功率 KW | 1.5 | 1.9 | 2.3 | 1.8 | 2.2 | 2.6 | 2.6 |
最大排气压力hPa | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 |
进气口 ISO-KF | DN 50 | DN 100 | DN 160 | DN 50 | DN 100 | DN 160 | DN 160 |
重量 kg | 250 | 370 | 530 | 260 | 380 | 540 | 540 |
干式真空泵 A4X 系列抽速：
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