Temptronic ThermoChuck
上海伯东美国 inTEST 旗下 Temptronic ThermoChuck 系统利用导电加热和冷却系统,搭配晶圆探针台共同使用,提供 -65 至 300?C 高低温环境,适用晶圆 150 mm、200 mm、300 mm ,可用于激光微调 Laser Trim 和晶圆老化 Burn-in 测试,例如低泄漏探测(fA)和高电压探测(10 kv),适用于晶圆、芯片在电高低温环境下的特性描述、失效分析等。Temptronic ThermoChuck 适合各种厂牌晶圆探针台,为确保兼容性,具体选型还请拨打客服热线:021-50463511
一、晶圆尺寸:150 和 200 mm
ThermoChuck 型号 | 温度范围?C | 冷却 | 加热 |
TP03000A | -65 to 200?C | Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling | 热电 |
TP03010A | 20 to 200?C | 风冷/水冷* | 热电 |
TP03010B | 0 to 200?C | Closed loop glycol/water cooling | 热电 |
TP03015A | 30 to 200?C ( 300?C optional) | 风冷/水冷* | 电阻 |
TP03015B | 30 to 200?C ( 300?C optional) | Closed loop glycol/水冷 | 电阻 |
电压 115V或 220V
* 用户提供冷却介质
二、晶圆尺寸:300 mm
ThermoChuck 型号 | 温度范围?C | 冷却 | 加热 |
TP03500A | -55 to 200 | Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling | 电阻 |
TP03500D | 20 to 200 | Open loop air cooling with Vortex* | 电阻 |
TP03500E | 30 to 200 | Open loop air cooling* | 电阻 |
电压 220V
* 用户提供冷却介质
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