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福州晶圆防爆真空固化炉

福州晶圆防爆真空固化炉

价格:面议浏览:690次联系:李厚丽 / 13533893339 / 企业:广州安菲环保科技有限公司天津分公司留言店铺收藏

福州晶圆防爆真空固化炉


品牌:GYPEX英鹏
型号:ZK-固化系列
价格:电议/面议


产品用途:本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺(PSPI)这一种新型工程高分子材料固化的专用设备,烘箱温度最高可达450℃

性能特点:

1、真空度可达10 Pa

2、精体内氧含量:≤20ppm,提供氧含量检测接口

3、日本优易控触摸屏,升降温斜率控制

4、内腔采用耐腐蚀SUS316不锈钢材质制作

型号:   ZK-固化系列                                 

内箱尺寸:20*20*40       ;30*30*60

控温范围:RT 20℃~450℃

温度波动:?0.5℃

真 空  度:10pa

氧 含  量:≤20ppm

内箱材质:  SuS316不锈钢 Stainless Steel Plate

外箱材质:  钢板静电喷涂表面处理 Baked Painting Steel

保温材料: 硅酸铝纤维棉 Aluminum silicate fiber cotton

保护装置: 声光报警器 超温保护器 Audible and visual alarm, Over Temp

功      率:  9.0    12.0

电      源: AC380V?10%3中50HZ

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