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瑞士 INFICON  Transpector®SPS残留气体分析仪原装正品

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INFICONTranspector®单压力采样（SPS）残余气体分析仪为目标高压过程提供最佳的半晶圆和显示面板保护。Transpector SPS可最大限度地减少晶圆和面板废料，同时为单压应用提供最灵敏的漏气和工艺污染检测。它提供业界领先的检测限和测量速度，以确保晶圆和面板输出的质量和数量。Transpector SPS通过为稳定的高压过程提供最可靠的过程监控，最大限度地提高了工艺产量和产量。该仪器结合了简单且经济高效的入口系统，经过现场验证的离子源和泵送组件，可提供低风险和高回报的气体分析解决方案。适用于一般真空和工业应用，Transpector SPS是真空电弧重熔（VAR）等冶金和热处理应用的成熟解决方案。Transpector SPS是可配置的，可根据特定应用和预算进行定制。可以选择标准孔板，毛细管和旁路管线组合，用于从1E-4 Torr到大气的取样过程压力。耐腐蚀入口，离子源和泵送封装设计用于蚀刻，CVD，ALD和其他腐蚀性气体工艺中的生存能力。

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